CORSO AVANZATO DI VUOTO: RICERCA DELLE PERDITE E CENNI ALL'ULTRA-ALTO VUOTO
Programma
PREREQUISITI:
Conoscenza dei principi fondamentali della tecnologia del vuoto.
OBIETTIVI: I partecipanti acquisiranno il concetto di perdita in un sistema da vuoto, i fondamenti del rilevamento delle perdite e le sue applicazioni pratiche. Saranno in grado di verificare sistematicamente la tenuta dei sistemi da vuoto con gli strumenti commerciali più utilizzati e concludere se le eventuali perdite presenti possono essere compatibili con i processi realizzati all’interno dei sistemi stessi. Una seconda parte relativa all’ultra-alto vuoto, permetterà ai partecipanti di acquisire una conoscenza critica su:
i) sistemi di pompaggio per raggiungere pressioni al disotto di 10-8 mbar,
ii) gli strumenti di misura e la loro affidabilità,
iii) le tecniche di pulizia delle superfici.
CONTENUTI
Il corso sarà strutturato su lezioni sia teoriche sia applicative, per poter applicare in laboratorio quanto imparato.
15 febbraio
H: 9:00 – 13:00
Teoria
- Ricerca delle Perdite
- Richiamo ai concetti di portata, velocità di pompaggio e conduttanza
- Definizione e significato di perdita
- Tassi di perdita ammissibili e relazioni con le dimensioni geometriche della perdita
- Metodi di ricerca localizzazione e misura - generalità:
- Prove in pressione
- Prove in vuoto
- Metodi di ricerca senza apparati dedicati
- Test a bolle, salita della pressione, ….
H: 14:00-18:00
- Formulazione delle specifiche di perdita e selezione dei metodi di controllo
- Metodi di ricerca con apparati dedicati
- Gas tracciante, calibrazione, sintonizzazione
- Spettrometri a settore magnetico 180° (Leak detector)
- Spettrometri di massa a quadrupolo
- Progettazione dispositivi e sistemi leak-free
16 FebbraioH 09:00 – 13:00
Laboratorio in presenza
Rilevazione e quantificazione di perdita in una camera da vuoto con leak detector industriale ad elio o prove di tenuta con spettrometro di massa a quadrupolo
H: 14:00-18:00
Ultra-Alto Vuoto
- Richiamo su concetti di flusso molecolare e gas rarefatti
- La produzione e la misura dell’ultra-alto vuoto
- La pulizia e il trattamento delle superfici
Programma orario15 febbraio
9.00-13.00 Lezione teorica online
14.00-18.00 Lezione teorica online
16 febbraio
9.00-13.00 Esperienza in presenza in laboratorio
14.00-18.00 Lezione teorica online ed esame finale
Il programma può essere scaricato in pdf al seguente
link.