La spettrometria di massa è uno dei metodi più comunemente utilizzati per analizzare la composizione di sostanze chimiche attraverso la misura della pressione parziale nel vuoto. Uno spettrometro di massa analizza componenti in fase gassosa ma è pur sempre possibile analizzare solidi o liquidi se vengono evaporati in un sistema idoneo.

Una delle applicazioni più comuni è la ricerca e la misura delle perdite di un sistema o di un prodotto per verificarne la funzionalità e la sua qualità nel tempo.

Pfeiffer Vacuum utilizza principalmente tre tecnologie per i propri rilevatori di perdite:

■ sensore a membrana di quarzo

■ spettrometro di massa a deflessione magnetica

■ spettrometro di massa a quadrupolo