CORSO AVANZATO DI VUOTO: RICERCA DELLE PERDITE E CENNI ALL'ULTRA-ALTO VUOTO

Programma

PREREQUISITI:
Conoscenza dei principi fondamentali della tecnologia del vuoto.

OBIETTIVI: I partecipanti acquisiranno il concetto di perdita in un sistema da vuoto, i fondamenti del rilevamento delle perdite e le sue applicazioni pratiche. Saranno in grado di verificare sistematicamente la tenuta dei sistemi da vuoto con gli strumenti commerciali più utilizzati e concludere se le eventuali perdite presenti possono essere compatibili con i processi realizzati all’interno dei sistemi stessi. Una seconda parte relativa all’ultra-alto vuoto, permetterà ai partecipanti di acquisire una conoscenza critica su:
i) sistemi di pompaggio per raggiungere pressioni al disotto di 10-8 mbar,
ii) gli strumenti di misura e la loro affidabilità,
iii) le tecniche di pulizia delle superfici.

CONTENUTI
Il corso sarà strutturato su lezioni sia teoriche sia applicative, per poter applicare in laboratorio quanto imparato.

Teoria
1. Ricerca delle Perdite

a. Richiamo ai concetti di portata, velocità di pompaggio e conduttanza
b. Definizione e significato di perdita
c. Fughe di riferimento e taratura
d. Metodi di ricerca localizzazione e misura:
i. Prove in pressione
ii. Prove in vuoto
e. Tassi di perdita, valore di pressione finale del sistema, sistema di pompaggio
f. Strumenti per la ricerca delle perdite:
i. Misuratori a ionizzazione
ii. Strumenti con spettrometro di massa a settore magnetico (Leak detector industriali ad elio)
iii. Spettrometri di massa a quadrupolo
2. Ultra-Alto Vuoto
a. Richiamo su concetti di flusso molecolare e gas rarefatti
b. La produzione e la misura dell’ultra-alto vuoto
c. La pulizia e il trattamento delle superfici

Laboratorio
1. Rilevazione e quantificazione di perdita in una camera da vuoto con leak detector industriale ad elio

Il programma può essere scaricato in pdf al seguente link.