CORSO AVANZATO DI VUOTO: RICERCA DELLE PERDITE E CENNI ALL'ULTRA-ALTO VUOTO

Programma

PREREQUISITI:
Conoscenza dei principi fondamentali della tecnologia del vuoto.

OBIETTIVI: I partecipanti acquisiranno il concetto di perdita in un sistema da vuoto, i fondamenti del rilevamento delle perdite e le sue applicazioni pratiche. Saranno in grado di verificare sistematicamente la tenuta dei sistemi da vuoto con gli strumenti commerciali più utilizzati e concludere se le eventuali perdite presenti possono essere compatibili con i processi realizzati all’interno dei sistemi stessi. Una seconda parte relativa all’ultra-alto vuoto, permetterà ai partecipanti di acquisire una conoscenza critica su:
i) sistemi di pompaggio per raggiungere pressioni al disotto di 10-8 mbar,
ii) gli strumenti di misura e la loro affidabilità,
iii) le tecniche di pulizia delle superfici.

CONTENUTI
Il corso sarà strutturato su lezioni sia teoriche sia applicative, per poter applicare in laboratorio quanto imparato.

15 febbraio

H: 9:00 – 13:00
Teoria

  1. Ricerca delle Perdite
    • Richiamo ai concetti di portata, velocità di pompaggio e conduttanza
    • Definizione e significato di perdita
    • Tassi di perdita ammissibili e relazioni con le dimensioni geometriche della perdita
    • Metodi di ricerca localizzazione e misura - generalità:
      • Prove in pressione
      • Prove in vuoto
  2. Metodi di ricerca senza apparati dedicati
    • Test a bolle, salita della pressione, ….
H: 14:00-18:00
  1. Formulazione delle specifiche di perdita e selezione dei metodi di controllo
  2. Metodi di ricerca con apparati dedicati
    • Gas tracciante, calibrazione, sintonizzazione
    • Spettrometri a settore magnetico 180° (Leak detector)
    • Spettrometri di massa a quadrupolo
  3. Progettazione dispositivi  e sistemi leak-free
16 Febbraio

H 09:00 – 13:00
Laboratorio in presenza
Rilevazione e quantificazione di perdita in una camera da vuoto con leak detector industriale ad elio o prove di tenuta con spettrometro di massa a quadrupolo

H: 14:00-18:00
Ultra-Alto Vuoto
  1. Richiamo su concetti di flusso molecolare e gas rarefatti
  2. La produzione e la misura dell’ultra-alto vuoto
  3. La pulizia e il trattamento delle superfici

Programma orario
15 febbraio
9.00-13.00 Lezione teorica online
14.00-18.00 Lezione teorica online

16 febbraio
9.00-13.00 Esperienza in presenza in laboratorio
14.00-18.00 Lezione teorica online ed esame finale

Il programma può essere scaricato in pdf al seguente link.