CORSO DI TECNOLOGIA DEL VUOTO E PROCESSI DI DEPOSIZIONE DI FILM SOTTILI
Programma
Il corso si terrà a marzo durante i seguenti giorni
(6-7 marzo) Primo e secondo giorno: Tecnologia del vuoto
(13 marzo) Terzo giorno: Tecnologie di deposizione
(14 marzo) Quarto giorno: Parte sperimentale
Primo giorno (Tecnologia del vuoto)
- Definizioni, Proprietà dei Gas e Teoria Cinetica
- Regimi di Flusso
- Portata, Conduttanza, Velocità di Pompaggio
- Calcoli di Conduttanze
- Equazione generale del pompaggio
- Produzione del Vuoto (Componenti e classificazione delle pompe)
- Misura del grado di vuoto
Secondo giorno (Tecnologia del vuoto)
- Ionizzazione nei gas e fenomeni di interazione gas-solido
- Soluzioni particolari dell’equazione del pompaggio
- Dimensionamento degli impianti
- Caratteristiche dei materiali impiegati nei sistemi da vuoto
- Ermeticità: fughe reali e virtuali, metodi di diagnosi
- Metodi di ricerca delle perdite
Terzo giorno (Tecnologie di deposizione)
Þ
Deposizione da fase vapore di tipo fisico (PHYSYCAL VAPOUR DEPOSITION - PVD)
- Evaporazione termica
- Deposizione laser (Pulsed Laser Deposition - PLD)
- Plasma sputtering
Þ
Deposizione da fase vapore di tipo chimico (CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION - CVD)
- Thermal-CVD
- Photo assisted-CVD
- Plasma enhanced-CVD
Nel corso saranno trattati gli aspetti generali (definizioni, cinetiche di crescita, ecc..) e comuni alle diverse tecniche di deposizione e saranno presentati esempi di processi e applicazioni.
Quarto giorno (Esercitazioni in presenza)
- Esercitazione su impianto da vuoto
- Prova di deposizione
- Caratterizzazione dei rivestimenti
Programma giornata 14 marzo
10.00 – 12.00: Visita ditta Gambetti Kenologia Srl (Via Alessandro Volta, 27, 20082 Binasco MI)
12.00 – 14.00: Pranzo
14.00 – 16.00: Visita ditta Kenosistec Srl (Via delle Scienze, 23, 20082 Binasco MI)
Il punto di ritrovo per chi arriva in macchina è direttamente presso la società Gambetti, mentre per chi arriva in metro il ritrovo è alla fermata “Assago Milanofiori Forum” della linea M2 verde per le ore 9.30. Ci saranno due auto per il trasporto.