Teoria (2 giorni)
Introduzione alla tecnologia del Vuoto
- Definizioni, Proprietà dei Gas e Teoria Cinetica
- Regimi di Flusso, Portata, Conduttanza, Velocità di Pompaggio
- Esercitazioni
- Produzione del Vuoto (Componenti e classificazione delle pompe, generalità)
- Misura del grado di vuoto (generalità)
- Caratteristiche dei materiali impiegati nei sistemi da vuoto (generalità)
- Dimensionamento di massima degli impianti, vuoto limite e tempi di pumpdown (generalità)
- Semplici esempi numerici di dimensionamento
- Ermeticità: fughe reali e virtuali, metodi di diagnosi
- Ricerca delle perdite
L’ultra alto vuoto
- Generalità
- La dinamica dei gas rarefatti: Regimi di Flusso, Diffusione e Permeazione, Diffusione superficiale
- Interazione gas solido: adsorbimento e desorbimento
- Degassaggio
- Pressione limite
- Semplici Esercitazioni
- Produzione del vuoto in UHV (pompe da UHV)
- Misura della pressione in UHV
- La pulizia e il trattamento delle superfici
- Progettazione di sistemi UHV e connessioni tra gli elementi:
- Giunzioni permanenti
- Flange
- Tenute
- Valvole
- Passanti
Attività di laboratorio
Ispezione visiva di materiale UHV: pompe, flange, misuratori
Misure di degassaggio
Misure di Conduttanza
Utilizzo di Spettrometro di Massa come diagnostica e come ricerca perdite